半导体加工鳞片石墨需具备的条件

   一部分半导体生产制造过程中，会添加鳞片石墨提高性能，但需要考虑鳞片石墨纯度、粒度分布，耐高温性等。下面天丰石墨小编介绍半导体加工鳞片石墨需具备的条件:

   1、纯度高

　对鳞片石墨纯度要求很高，如果杂质含量多，会污染半导体材料。因此除对所应用鳞片石墨的纯度严控外，还需经过高溫石墨化处理，以降低灰分。

　2、粒度分布高

　用以煅烧的磨具规定生产加工精密度很高，鳞片石墨颗粒物度要细，颗粒物度细的石墨非常容易超过生产加工精密度，且高溫抗压强度高，耗损小。

　3、耐高温

　半导体工业生产常用石墨器件大多要反复加热和冷却，所以鳞片石墨材料在高溫条件下，应具备优良的尺寸稳定性和耐热冲击性能，以提升半导体器件的使用寿命。

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